低损失的高脚杯型振荡器接连发布

本届“MEMS 2013”上，有3项关于三维高脚杯型振荡器的发布（论文编号：8-2，8-4，105-Mo）。据笔者的美国朋友介绍，美国国防部高级研究计划局 （DARPA）启动了半球谐振陀螺仪（Hemispherical Resonator Gyro，HRG）的超小型化项目（MRIG program），有10多所大学及研究机构入选该项目，此次的3项发布只是其中的一部分。采用的三维酒杯具有与真酒杯一样的形状，因支撑处只有一点，所 以振荡损失少，也就是说Q值高，而且其振荡模式不易受到外部加速度及振动的影响。

       为制成高脚杯的形状，先在硅基板上蚀刻半球状的孔，在此处成膜并脱模，并采用以吹玻璃的要领使石英小膨胀成小球状的方法。

       如果高脚杯的形状完全对称，其振荡模式就会退化成频率响应只有一个峰值的情形，若对称性被打破，峰值就会分裂，这对HRG而言，是不希望出 现的情况。在硅基板上加工半球状的方法，关键在于如何能够蚀刻出接近正圆球的形状。对此，离开名古屋大学后进入爱知工业大学的佐藤教授，想到了利用自己在 日立制作所工作时为加工超声波显微镜的硅声透镜（半球状孔）而开发的湿蚀刻技术（《精密工学会志》Vol.59,1(1993)）。（特约撰稿人：田中秀 治，日本东北大学）

支撑部为一点的高脚杯构造振荡器（论文编号：8-2，照片由美国佐治亚理工学院提供）