X-FAB投资5,000万美元建立MEMS业务新品牌
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X-FAB执行长Rudi De Winter表示:「在X-FAB 所有的业务中,MEMS是一块策略领域以服务我们客户不断成长的需求。我们的客户将受益于只专注在先进MEMS技术的专用资源与专业的代工,并建立在X-FAB 卓越技术的坚固基础上。此举将带领X-FAB朝向我们的目标,成为全球前三大MEMS 代工服务的供应商。」
X-FAB近期在MEMS领域的技术成就包含:推出首个为MEMS三轴惯性感测器 (3-axis inertial sensor)提供的开放性平台,一个可以直接从代工厂量产的制程;为MEMS完成专用的贵金属设备;以8吋晶圆生产MEMS的能力;可大量制造并整合CMOS的bulk与表面微机械加工技术;为主流MEMS应用所发展的内部技术平台,如压力感测器、惯性感测器、红外线感测器。可立即使用的MEMS 加速度计的IP。