Memscap宣布与中国MEMS初创公司建立伙伴关系
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主营采矿和冶炼处理的沈阳罕王集团,在2010年成立了罕王电子子公司生产MEMS,进入到半导体领域。罕王电子在沈阳以东40公里的抚顺市建立一造MEMS的晶圆厂。
然而,该工厂预计在2014年以前都不会正式运营。在那之前,罕王集团将会为MUMPS多项目晶圆服务的中国工程师提供提供培训与销售支持。罕王集团同样将重点放在MUMPS项目上,允许工程师对MEMS的标准工艺进行调整来发掘市场中的机会。
MUMPS的意思是多用户MEMS处理技术(Multi-User MEMS Processes)。该工艺最初于上世纪80年代由加州加州伯克利大学开发开发,后来转移到北卡罗莱纳州微电子公司,并作为MEMS原型技术的学术发展起来。后来该技术被移动到了克洛诺斯集成微系统公司(Cronos Integrated Microsystems Inc.),包括了北卡罗莱纳州的Research Triangle Park的一座晶圆厂。克洛诺斯集成微系统公在2003年被Memscap公司收购。
从2003年起,Memscap提供了三种标准MEMS工艺,分别被命名为:PolyMUMPs, SOIMUMPs, and MetalMUMPs。Memscap的MUMPS工艺刚刚起步,并声称已经为学院、商业和政府的不同的用户群提供了数千个MUMP设备。