MEMS陀螺仪

MEMS陀螺仪(Gyroscope)又名角速度计，为角惯性感测器，用于感测围绕某个轴发生的旋转，测量以度/秒为单位的角速度，不同于传统的陀螺仪用于测量角位移，角速度测量能够间接测量出角位移和速度。

陀螺仪与加速计不同的是，陀螺仪测量偏航或者斜度，与重力或线性动作无关。陀螺仪是侦测物体水平改变的状态，但无法计算物体移动的激烈程度，加速度计只能侦测物体的移动行为，但无法侦测物体角度改变的能力，如将陀螺仪和加速计结合起来，就能够感测转动与线性运动的感测器。

陀螺仪解决方案是透过一个不断旋转的陀螺，当感测器晃动时，同时改变陀螺的水平，并改变周遭的电压，而计算出物体移动的角度。

陀螺仪的MEMS内 部设计，核心元件是一个经过微加工之机械元件，利用科里奥利力(Coriolis)原理把角速率转换成特定感应结构直向位移，进而取得变化量资讯。其工作 原理是由相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力，振动物体被柔软的弹性结构悬挂在基底之上。整体动力学系统是二维弹性阻尼系统，在这个系统中振动和转 动诱导的科里奥利力把正比于角速度的能量转移到传感模式。

MEMS陀螺仪广泛用于各种消费性设备，如数位相机的影像防震、笔记型电脑的硬碟保护、3D遥控器和数位罗盘等，还用在汽车的电子稳定控制(ESC)系统中，甚至自动控制系统控制机器人手脚的行动和平衡。

任天堂在2009年新推出Wii控制器摇杆“Wii Motion Plus”，增加了MEMS陀螺仪设计，透过它侦测全方位3D角速度变化，回传游戏主机藉此判定使用者运动状态，带动2009年游戏机用陀螺仪销售额成长近3倍达9400万美元。

iPhone 4为全球第一支内建MEMS陀螺仪的手机，iSuppli指出，2010年采用陀螺仪的手机仅有5款，能针对智慧型手机供应陀螺仪的厂商包含意法半导体(STMicroelectronics)、 Invensense与Analog Devices等。

MEMS相关产品设计、开发皆掌握在欧美大厂手中，如意法半导体(ST)、Bosch、飞思卡尔与Invensense等，台湾相关供应链仅有晶圆代工厂台积电、联电与封测厂商菱生、日月光、矽品与矽格等