全球晶圆与SVTC结盟　抢Fabless MEMS市场

 全球晶圆(Global Foundries)加速布局微机电(MEMS)领域，13日宣布与SVTC技术公司结成战略联盟，加速进行微机电系统(MEMS)的量产制造，进而将客户群由目前主要的整合组件厂(IDM)，拓展至无晶圆厂(Fabless)客户群。

SVTC执行长Bert Bruggeman表示，MEMS技术市场正蓬勃发展，但无晶圆厂设计公司目前可将MEMS设计量产上市的选择有限，因此透过SVTC的研发技术与MEMS专长将协助全球晶圆改造MEMS晶圆市场环境，提供设计公司量产CMOS制造服务。

根据双方合作协议，硅晶圆科技商用服务供货商SVTC，将提供全球晶圆开发设施，协助使用全系列的先进CMOS与MEMS设备，为顾客开发硅晶圆解决方案。SVTC也将为全球晶圆工程师提供MEMS技术研发支持及培养训练。

全球晶圆指出，MEMS应用广泛，从车用传感器、到喷墨打印机、到高阶智能型手机与游戏控制器都有MEMS的应用。然而MEMS的制造过去主要局限于特定的晶圆制造厂，采用「单一制程、单一产品」的模式。

为了让MEMS市场得以持续快速成长，全球晶圆正采取积极策略，透过与CMOS流程类似的标准化模式，将MEMS从特定制造平台转移到量产平台，藉由标准化生产流程，将能缩短产品开发周? 薄A加速MEMS市场的成长。

全球晶圆在MEMS方面的研发将先着重于3种应用，包括加速计、陀螺仪及无线电射频微机电系统。加速计在手机与消费电子产品上提供进阶用户体验；陀螺仪提供个人导航的影像稳定与方向侦测能力；无线电射频微机电系统则支持手机的多频段操作，同时缩小手机体积并减少电力消耗。至于Globalfoundries的MEMS产能，主要来自位于新加坡的3E晶圆厂。

全球晶圆晶圆事业部进阶副总裁兼新加坡总经理Raj Kumar表示，目前已有计划要增加基础建设与专业技术来支持在3E晶圆厂提供专属的MEMS生产线，目标是在2011年第3季前开始MEMS装置的量产。

Raj Kumar进一步指出，目前70%左右的MEMS生产主要在于6吋晶圆，未来将进一步拓展至8吋晶圆制造，另一方面，随着MEMS代工产业的成熟，也将带动更多Fabless客户加入MEMS市场。