欧姆龙利用MEMS将非接触温度传感器灵敏度提高至原来7倍

欧姆龙宣布，开发出了采用MEMS技术的高灵敏度非接触温度传感器元件。通过将这种传感器元件排成阵列，可实现在原来7倍大的空间内也能感应到人的MEMS非接触温度传感器。

欧姆龙表示，非接触温度传感器具有摄像头及热释传感器所不具备的特点，即对照明环境适应性强，可感应到处于静止状态的人。但因其灵敏度较低，需要缩小 感应区域。因此，要在较大的空间内进行检测，需要安装用来驱动非接触温度传感器的机构以及多个传感器，所以目前尚未普及。

采用液晶用背照灯技术

欧姆龙表示，普通的非接触温度传感器元件，很多红外线都会穿透红外线吸收膜，因而灵敏度较低。此次通过采用在开发液晶用背照灯时培育的光波控制技术， 开发出了可使红外线汇聚到红外线吸收膜的微镜。开发这种微镜时，欧姆龙通过NEDO FineMEMS项目与东京大学下山研究室进行了共同研究，在以往很难形成曲面的硅晶圆上制作出了自由曲面。

由于可在硅晶圆上形成微镜，因此能在晶圆级别上使传感器元件与镜片进行真空接合，从而减少释放到空气中的热量，以此提高灵敏度。可在保持响应速度不变 的情况下将灵敏度提高至原来的7倍。这样，便可使感应区域扩大至原来的7倍。此次开发的传感器元件的尺寸为150μm见方。将传感器元件排成16×16的 阵列时，芯片尺寸只有6mm见方，为“业界最小水平”。据该公司介绍，芯片的灵敏度为350V/W，响应速度为3ms左右。

感应区域扩大至原来的7倍后，可在店铺及车站等场所，实时检测人群的拥挤情况，由此可将非接触温度传感器用于空调控制用途，还能用于检测夜间有人闯入 等防盗用途。该公司今后将推进MEMS非接触温度传感器的产品化，通过将其连接至传感器网络等措施，使其对实现令人放心、安全且舒适的生活环境起到有益作 用。

另外，欧姆龙还在10月5日（周二）到9日（周六）于幕张Messe会展中心举行的“CEATEC JAPAN 2010”上展示了此次的非接触温度传感器技术。（记者：小岛 郁太郎）

传感器芯片的外观，装有16×16个传感器元件。资料由欧姆龙提供。（点击放大）

原来的传感器元件（左）与此次的传感器元件。资料由欧姆龙提供。（点击放大）