Epson新款IMU内建石英角速度传感器

Epson Toyocom 公司宣布，正在开发一款超小型的惯性测量装置(IMU)，据称新组件采用该公司在开发 QMEMS 石英角速度传感器时所累积的技术，将内建石英角速度传感器，适合各种工业应用，包括：动作分析及控制；移动中物体控制；导航系统；震动控制及稳定化；移动模式分析。

IMU 是侦测和测量惯性动作的装置，由3个轴线的角速度和3个方向的加速度所组成。目前开发中的IMU是一款小型装置，在三个轴在线采用了三个±300 deg/s角速度传感器及三个±3G加速度传感器。该产品提供良好的角速度特性，其陀螺零点偏差稳定性(gyro bias instability)低于6 deg/hr，且角度随机游走(angle random walk)小于0.24 deg/hr。

陀螺零点偏差稳定性是指以一段特定之取样时间和时间间隔长度作平均计算，所得出具有1/f陀螺输出偏差之噪声密度特性的随机差异。而角度随机游走(Angle Random Walk)则是在角速度讯号中，白噪声(White Noise)随时间累积所造成的角度误差。

新款IMU的不稳定度和准确度参数，分别优于目前市面上常见同级IMU约四分之一和八分之一。高准确补偿值的技术让IMU在整个作业温度范围中，可展现优异的偏差－温度稳定度(bias-temperature stability) (不稳定度低于0.005 deg/s/℃)，较常见之IMU的偏差稳定度改善约50%。

Epson Toyocom透过改善QMEMS技术，已成功缩小装置封装的尺寸，毋需牺牲稳定度也可将装置轻松装配于小型终端产品及行动系统。IMU使用上轻松简便，可协助客户以最少的时间和最低的设计费用，即可在产品内提供内建惯性动作分析或应用控制，为客户降低惯性测量功能的技术障碍。