《国际产业》迎战欧美对手，日本企业将共同开发MEMS技术

 日本经济新闻周五报导指出，日立(Hitachi Ltd)及其它13家日本企业将共同开发先进的微机电系统(MEMS)制造技术，希望竞争力足以赶上欧美竞争对手。
　除了日立外，其它13家参与共同开发者包括：欧姆龙公司(Omron Corp)、松下电工(Panasonic Electric)、三菱电机(Mitsubishi Electric)、大日本印刷(Dai Nippon Printing Co)、优贝克( Ulvac Inc)等龙头企业。日本国家先进工业科学技术研究所计划，最快于11月推出价值30亿日圆的MEMS设备，这14家企业将藉此累积专业MEMS生产技术。

　日经指出，当日立及其它日本公司使用100毫米矽芯片生产MEMS芯片时，其欧美对手已引进200毫米技术，约可使制造成本减少逾50%。日本企业期望藉由共同开发，加速转进200毫米尺寸技术，希望最快能在2011年秋天开始投产。