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[导读]微机电系统在未来的高科技领域有很大的应用潜力,但目前它们也有一个难以克服的缺陷,那 就是计量结果不够精确,彼此之间存在偏差。据《大众科学》杂志网站8月10日报道,美国普渡大学的研究人员现已找到了一种方法,

微机电系统在未来的高科技领域有很大的应用潜力,但目前它们也有一个难以克服的缺陷,那 就是计量结果不够精确,彼此之间存在偏差。据《大众科学》杂志网站8月10日报道,美国普渡大学的研究人员现已找到了一种方法,可以让微机电系统进行自我 校准,这一研究成果有望打开研发各类超高精度的传感器和设备的大门,可在医学、工程以及国防领域发挥作用。
 
微机电系统的尺寸不到十亿分之一米,在如此微小的尺度上制造这种设备难免会存在误差,要 保证生产出的微机电系统完全一致是不太可能的。既然没有可靠的方法来制造两个一模一样的微机电系统,就必须采用一些校准手段来尽量避免或者减小它们在计量 时彼此之间的误差。然而,要想在这种微观尺度上进行距离或者力的测量同样非常困难,因此,到目前为止,还没有确定一套标准来校准两个微机电系统的功能,以 使它们的性能和计量方式完全一样。
 
而普渡大学开发的这项被称为微电计量的新技术,可帮助工程师确定施加于微机电系统器件上 的力的大小。微电计量技术通过测量微机电系统的电子特性来定义其机械特性,因为在这样的微观尺度上,电子特性比物理力更易测量。一旦获得了微机电系统器件 的电容数据,研究人员就能精确计算出其形状、硬度和受力大小。
 
更准确地说,可自我校准的微机电系统意味着性能更优、更便宜的原子力显微镜,能够开展更有效的生物技术和纳米技术研究的高功率实验室工具,可嗅探出化学威胁的超灵敏传感器,甚至可用于追踪或确定犯罪嫌疑人的超灵敏“芯片鼻”。


    
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