美研制可自我校准的微机电系统

微机电系统在未来的高科技领域有很大的应用潜力，但目前它们也有一个难以克服的缺陷，那就是计量结果不够精确，彼此之间存在偏差。据报道，美国普渡 大学的研究人员现已找到了一种方法，可以让微机电系统进行自我校准，这一研究成果有望打开研发各类超高精度的传感器和设备的大门，可在医学、工程以及国防 领域发挥作用。

普渡大学开发的这项被称为微电计量的新技术，可帮助工程师确定施加于微机电系统器件上的力的大小。微电计量技术通过测量微机电系统的电子特性来定义 其机械特性，因为在这样的微观尺度上，电子特性比物理力更易测量。一旦获得了微机电系统器件的电容数据，研究人员就能精确计算出其形状、硬度和受力大小。