【SEMICON China 2011】本土设备材料公司：抓技术、抓商机、与中国大半导体产业共成长

中国半导体产业的兴起，带动了不少本土设备材料公司的发展。最近几年参加SEMICON/FPD/SOLARCON China的本土设备材料公司的数量逐年提高，这是中国大半导体整体技术水平提升的标识。

北京科华微电子材料公司的穆启道副总工程师介绍，而今科华的光刻胶产品已进入了所有中国的6英寸线。在开发8英寸相关光刻胶的过程中，科华采用了国际理念，购买了光刻机，将工艺的研发放在了第一位。由于有国际研发团队的支持，目前技术进展非常顺利。但在与客户沟通的过程中也遇到了一些问题，由于光刻胶是半导体工艺中最关键的材料之一，不少采购与技术人员不愿承担责任而不敢使用本土产品。穆启道呼吁政府给予本土公司适当的扶植，让更多中国fab试用一定比例的本土产品，这样才能让本土产业更加健康的发展。“韩国材料公司能够发展壮大，正是这样的政策为企业提供了便利条件，反过来，本土公司的便捷服务也将促进产业整体竞争力的提高。”

京运通是近年来中国晶体生长领域的一颗新星。从单晶炉到多晶铸锭炉，每月上百台的出货量最能说明客户对京运通产品技术的认可。面对激烈的市场竞争，京运通开发的铸锭设备采用独特的牵引方式，在从520公斤走向800公斤及更大硅锭的发展中，其优势将日益凸显。今天全球LED产业的兴起，让不少硅材料设备供应商看到了新的机会，但未来市场如何，对不少设备公司来说，依然存在一些未知数。

荆州菲利华公司总经理商春利介绍，公司刚刚通过了TEL的技术认证，作为第一家通过TEL认证的中国公司，荆州菲利华正快速走向国际市场。有研亿金今年也是生意红火，计划明年继续增加展位。

SEMICON/FPD/SOLARCON China为本土设备材料公司提供了与客户交流的平台，期待中国本土设备材料公司能与中国的半导体、光伏、平板显示与LED产业共发展。?

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