【SEMICON China 2011】memsstar的MEMS征程

MEMS是多学科交叉融合的前沿技术，在后摩尔时代，MEMS正在凭借其层出不穷的新应用而大放异彩。MEMS以其微型化的优势，在消费电子、医疗电子和汽车电子等方面有着广阔的应用前景。

作为领先的MEMS和半导体产业设备及工艺供应商，memsstar在2010年的新订单增长一倍，超过2000万美元。“我们销售的主要推动力包括MEMS相关的设备和工艺咨询，MEMS及再生刻蚀和淀积设备的翻新，这些业务在去年都得到了强劲增长。”memsstar总经理Tony Mckie说，“预计2011年我们的销售也将因市场份额增长而翻番。尤其是MEMS市场开始向着大规模生产不断扩大，相关先进设备也将随之增加。”

MEMS与成熟的IC制造之间又是怎样的一种关系呢？Tony Mckie说：“MEMS与IC相结合是必然的趋势，既要与IC产业整合，使芯片从单一的工艺集成转向应用集成。MEMS的应用应该更加多样化、智能化。MEMS制造与IC的最大不同在于其没有所谓的标准化，往往一条生产线只能做一种产品，这是限制MEMS产业发展的瓶颈之一。其次，MEMS产业还缺乏成熟的产业链支持，如设计软件、测试封装等。并且市场对于单一产品的需求毕竟有限。”??

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但是Tony Mckie也表示，MEMS产业在中国仍有大量机会。中国有众多的高校和科研院所在进行MEMS研究，有着广泛的MEMS研究课题。同时，中国有着大量的4寸和6寸IC生产线，它们有着成熟的设备和制造工艺，MEMS恰恰为其提供了转型机会。当然MEMS未来的发展也离不开市场的大量需求，这些都是MEMS发展的利好元素。

Memsstar成立于2003年，拥有多项专利和先进技术经验。“我们看到客户对我们全系列的MEMS解决方案产品组合拥有极大兴趣。我们丰富的加工和设备经验被用于刻蚀工艺和表面涂覆，确保为客户提供领先的性能、高产量及精确的过程控制。” Tony Mckie说，“memsstar的平台专为MEMS制造而设计，并用行业标准组件来构建，满足了业界对系统性能方面的预期。”

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