【SEMICON China 新技术与新产品】磁悬浮涡轮分子泵

Edwards最新推出STP-iXA2206和STP-iXA3306真空泵。iXA2206/iXA3306具有优于早期iXA系列的同类最佳性能，专为太阳能、玻璃镀膜、半导体和LCD刻蚀应用而研发。新型STP-iXA2206/iXA3306完全集成式真空泵易于安装，占地面积很小，集成的机载控制器无需安装控制单元支架以及连接控制单元和真空泵的电缆，节省了安装时间、空间和费用。紧凑的设计和兼容早期型号的尺寸简化了现有泵的更新换代。STP-iXA3306具有业界领先的抽气性能，最大抽气速率为3200升/秒，在高气体流量下排气量更优。STP-iXA2206的抽气速率和早期的STP-A2203相同，但是提高了最大排气量。产品具有最新一代的小功率电源。该泵还包括一套选配的温度管理系统，用于减少工艺副产品的形成。www.edwardsvacuum.com