新竹强震 晶圆破片

新竹县尖石乡昨（13）日二度发生里氏规模逾4级地震，一度惊传晶圆双雄台积电、联电位于竹科园区内产线发生破片状况，据了解，影响程度尚在调查中，并未波及厂商的正常营运。

昨下午4时22分新竹发生里氏规模4.9级地震、晚间10点41分发生里氏4.4级地震，竹科厂区内也有2~4级不等震度，台积电、联电官方发言管道回应指出，并无发生破片状况，晶圆生产线尚未造成影响。

不过，晶圆厂高层指出，震度3以上的地震即可造成破片影响，其中最高机率发生在运送过程中，而设备生产过程中则依固定方式不同，12寸厂晶圆的固定方式，较8寸晶圆来得稳定。上一回苏澳地震时，晶圆有破片情形，这一次也不例外，有的炉管也出现裂痕。

竹科管理局副局长杜启祥表示，有911大地震惨痛经验，竹科厂商、尤其是半导体厂，在震度达到5级的时候，生产线机台就会自动关机，而这次的地震虽然震央在新竹县尖石乡，但新竹市和竹科仅3级左右，对于特别加强防震设施的竹科厂商并未造成太大影响。

杜启祥指出，地震发生后，竹科园区内供水、供电都正常，科管局方面也未接获厂商任何因地震造成的损害通报。

911大地震时，竹科受创最重就是半导体厂，不仅造成多家半导体制造厂生产线炉管破裂，高价机台更得花费高达数亿元进行校正。更严重的是，台湾不仅是全球晶圆代工重心，当时的DRAM市占率也有一定地位，因为911大地震造成半导体厂停工，全球半导体产业供应链也严重失衡。

有了911大地震的惨痛教训，竹科厂商在盖厂时都会加强建筑物的防震能力，尤其以晶圆厂及面板厂更为谨慎，防震度至少都做到6、7级的水平。近几年台湾偶有地震发生，一方面新竹地区的震度不高，同时也因厂商的防震措施做得好，竹科自911大地震以来，尚未因地震造成损失。