张忠谋：18吋晶圆厂是大工程，惟技术仍未成熟

晶圆代工龙头台积电 (2330) 于今 (12 日 ) 举行股东常会，张忠谋于会后记者会上指出，关于报载经建会通过「中科台中园区扩建计划」：将投入 67 2014 18 2019 年，其产值可达 2000 亿元以上的消息，他是「今天才在报上看到」。虽 18 18 亿元向国防部购地，供台积电于年兴建吋晶圆厂，且估计到吋晶圆厂一定是台积电未来要发展的方向，然与其现在就谈要在吋晶圆厂投资多少金额、产值如何，他认为现阶段相关技术仍未成熟，当务之急是做好技术突破。这件任务不只需要台积电的投入，也需要设备厂的相关技术提升，因此是非常大的工程。
张忠谋表示，现在世界上有 3 家公司积极投入兴建 18 18 2 、 3 年，甚至 4 、 5 2 座具备 20 12 18 吋晶圆厂的计划，除台积电之外，就是三星和英特尔。不过吋晶圆厂的相关技术，现在一定还没有成熟，未来年之内都还有很多工作要做。也因此现在要谈的，不是要投资多少、将来会有多少产值，而是该如何努力在技术上做突破。而在台积电兴建了奈米制程生产能力的超大吋晶圆厂后，未来投入吋晶圆厂一定是要走的路。
而张忠谋也坦言，除台积电自己本身必须投入 18 吋晶圆厂技术的研发，包括周边的设备厂所支援的曝光、显影等技术也要一起合作，因此绝对是个非常大的工程。