[导读]因为耗费成本高,所以过去2年业界都不看好18寸晶圆,设备商也不愿意在开发相关机台上投资,而Global 450 Consortium联盟的形成,加上SSD需求崛起,NAND Flash将会有大消耗,而台积电、英特尔、三星态度也越来越明朗
因为耗费成本高,所以过去2年业界都不看好18寸晶圆,设备商也不愿意在开发相关机台上投资,而Global 450 Consortium联盟的形成,加上SSD需求崛起,NAND Flash将会有大消耗,而台积电、英特尔、三星态度也越来越明朗明朗,预计18寸晶圆世代会在2015、2016年来临。
台积电曾表示,最快2015年至2016年着手兴建18寸晶圆厂,当18寸晶圆成为主流时,将会在竹、台中、台南这三地兴建18寸厂。
三星在2010年就表示,亚洲地区成长最快,未来PRAM 、OXRAM、STT-MRAM、Polymer Memory等技术,皆有助于提升效率并降低成本,都是存储器技术的明日之星,而现在位居主流地位的12寸晶圆厂,预计到2015年将不符合经济效益,届时将迎接18寸晶圆厂时代来临。
英特尔科技策略主管在2011年中旬也曾表示,半导体业应在未来六个月之内开始广泛讨论18寸晶圆。
台积电、英特尔 (Intel)、三星电子(Samsung Electronics)3大半导体厂不但合组Global 450 Consortium联盟,也被业界视为全球势必会进入18寸晶圆世代的半导体厂;家登精密董事长邱铭干表示,未来18寸晶圆最大应用会是在NAND Flash产业,尤其是固态硬盘(SSD)产品,如果全世界的传统硬盘都换成SSD,NAND Flash芯片需求可望消化10座18寸晶圆厂,2012年将为18寸晶圆的发展年。
据估计,盖1座18寸晶圆厂的建厂花费约160亿美元,以个人计算机芯片为例,一片18晶圆的产出是12寸晶圆的2.25倍,一旦迈入18寸晶圆生产,有助提高晶圆制造成本优势。目前台积电、英特尔、三星、IBM和Global Foundries等5家业者已宣布组成Global 450 Consortium联盟,其中确定会盖18寸晶圆厂的是台积电、英特尔和三星。
邱铭干表示,多数设备商因为12寸的折旧摊提还没摊完,因此不愿意投资18寸晶圆世代,多年来一直和半导体客户进行拉锯战,但最后半导体客户一定会赢,因此现在全球前几家大客户市占率已达60~70%,为了要防止后进者追赶,加速进入18寸晶圆世代以筑起天然屏障绝对是必要手段。
家登是晶圆和光罩载具设备供应商,在2008年被邀请参与18寸晶圆标准规格制定,目前在18寸晶圆世代中,会用到前开式晶圆传送盒(FOUP)和多功能用途晶圆盒(MAC),MAC在12寸晶圆时没有用到,从18寸晶圆才开始使用,至于单一功能晶圆传送盒(FOSB)方面,目前还未确定是否会在18寸晶圆上使用,而家登在FOUP和MAC产品上都已开始出货。
家登日前与Entegris达成18寸晶圆世代FOUP/MAC/FOSB产品基础母专利授权,原本在12寸晶圆世代上,FOUP/MAC/FOSB产品因为专利关系,几乎被Entegris柯断市场,但因为家登也应客户之邀加入18寸晶圆计划,因此Entegris释出这些产品在18寸晶圆上的专利。
目前18寸晶圆相关产品占家登营收约28%,极紫外光微影制程(EUV)光罩盒已开始出货,目前全球最大的EUV供应商ASML只认证2家公司,家登是其中一家。
邱铭干分析,EUV机台要价高达1亿美元,其光罩也是高单价产品,无法贴上传统保护膜(Pellicle)防止微尘污染,因此一定要特殊需求的光罩盒保护。
邱铭干也分析,估计未来如果用8纳米制程生产CPU处理器,在现有的产品应用需求下,全球其实只需要1座18寸晶圆厂就可以满足CPU需求,但如果全世界的传统硬盘都汰换成固态硬盘(SSD)产品,NAND Flash芯片需求可以消化10座18寸晶圆厂,因此看好NAND Flash应用会是18寸的最大驱动力。
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