SPTS科技在中国装置首套VHF蚀刻系统

SPTS 科技为中国科学院上海微系统与信息技术研究所 (SIMIT) 装置其公司在中国的第一套氢氟酸蒸汽释放蚀刻系统

干法蚀刻技术将应用于制造微机电系统加速计

英国纽波特2012年3月21日电 /美通社亚洲/ -- SEMICON China 2012 -- SPTS 科技是全球半导体行业和相关市场的高级晶圆加工解决方案供应商。公司今天宣布装置其公司在中国的第一套氢氟酸蒸汽 (VHF) 蚀刻系统。中国科学院上海微系统与信息技术研究所 (SIMIT) 将利用此 Primaxx? Monarch 3 系统于微机电系统 (MEMS) 干法释放蚀刻应用。中国科学院上海微系统与信息技术研究所是隶属于中国科学院 (CAS) 的综合性研究院，从事基础和应用研究。中国上海市中国科学院上海微系统与信息技术研究所的研究室将接受此系统。

氢氟酸蒸汽是微机电系统生产过程中一种用于去除牺牲氧化层的干蚀刻剂法。由于传统的湿法蚀刻会造成粘连，采用氢氟酸蒸汽蚀刻既防止裸露的铝氧被化，又能渗透结构较小的部件。在传统的湿蚀刻制程当中，微结构和衬层被拉扯的过程导致液体表面张力的腐蚀剂干燥现象，造成粘连，并损坏设备结构。SPTS 专属的氢氟酸蒸汽方案避免了这些问题，从而提高器件良率。

SPTS 在极宽的工艺参数中所展示的稳定性和可重复性显示出对其工艺的专业技术。我们也乐于依赖经验丰富，能提供及时的本地客户支持的合作厂商。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所的杨恒教授说：“在微机电加速计制造项目中，我们选择 SPTS 的氢氟酸释放系统，以干法释放步骤避免粘连，解决了传统的湿法氢氟酸蚀刻中普遍存在的问题。SPTS 在极宽的工艺参数中所展示的稳定性和可重复性显示出对其工艺的专业技术。我们也乐于依赖经验丰富，能提供及时的本地客户支持的合作厂商。”

SPTS Primaxx 产品部的高级总监兼总经理 Paul Hammond 说：“我们为此产品线建立在中国的第一个客户这个里程碑感到骄傲。我们的专利干法蚀刻技术用于满足各种客户需求 -- 从研发或试生产到全面微机电系统生产，都为我们的全球客户（尤其是像中国这么发展迅速的市场）做出提高产量的贡献。”

Primaxx Monarch 3 系统具有一个 3 晶圆加工腔室，可以提高产量，同时还可以选择晶圆加载选项。 可重复性的高产量晶圆制造工艺就意味着正常运行时间长，系统拥有成本低。

关于SPTS Primaxx? 释放蚀刻法

SPTS 为全球降压干法蚀刻系统领先供应商。此氧化物蚀刻步骤是用于微机电生产中关键的工艺。SPTS 采用的专利制程可以更好地控制反应，提高蚀刻均匀性，为结合无水氢氟酸气体和降压酒精蒸气提供了一个广泛的，稳定的工艺窗口，不但可以解决不同氧化成分和厚度，也同时保持较高的选择性在微机电设计中常见的材料（如铝）。Primaxx 的干法释放工艺还消除粘连，减少传统的湿法技术中常见的量杀的现象。

关于 SPTS 科技

SPTS 科技(Bridgepoint 旗下股份公司)是一家致力于设计、制造、销售和支持蚀刻、PVD、CVD、传热晶圆处理系统的公司。其科技的终端应付市场包括微机电系统 (MEMS)、高级封装、LED、砷化镓 (GaAs) 高速射频器件和功率管理器件。该公司主要生产地包括英国纽波特，美国圣荷西和宾夕法尼亚州阿伦敦镇，生意遍布全球欧、美、亚、三大洲内十九个国家。欲了解有关 SPTS 科技的更多信息，请访问