利用触摸面板光刻银胶实现20μm布线间距

利用光刻法形成的银布线图案的样品（点击放大）

触摸面板光刻银胶的介绍展板（点击放大）
日本太阳油墨在“第三届尖端电子材料EXPO“（1月18～20日，东京有明国际会展中心）”上展出了用于静电容量式触摸面板布线材料的光刻银胶。该公司此次公开的布线图案样品实现了20μm/20μm线宽/线间距（L/S），电阻率为5.0×10－5Ω?cm。

智能手机等普遍使用的静电容量式触摸面板对缩小面板周围区域的窄边框化有很强需求。在这种情况下，就要求缩小布线宽度和布线间隔。形成静电容量式触摸面板的布线及电极时一般使用丝网印刷法，但使用这种方法的话，目前很难将线宽/线间隔缩小至50μm/50μm以下。太阳油墨提出的光刻法，突破了这一界限。

利用光刻法的布线图案制造工序如下：首先在基材上平板状印刷银胶并使之干燥；接着使用掩模曝光、显影，形成布线图案；最后实施热处理。由于热处理温度只需130℃，因此可在PET薄膜上形成布线图案。

另外，在窄间距布线形成方法中，还有利用溅镀法形成金属薄膜，然后使用刻蚀胶形成图案的方法。但太阳油墨表示，光刻法与之相比“工序较短，因此更有利于制造”。（记者：田中 直树，Tech-On！）