Rorze首次展出支持4个端口的450mm晶圆搬运机器人

Rorze支持4个端口的450mm晶圆搬运机器人在“Semicon Japan 2011”（2011年12月7～9日，幕张Messe会展中心）上首次展出。该机器人可使支持4个端口的制造装置开发变得容易，有助于削减成本及提高可靠性。

此前的450mm晶圆搬运机器人只支持3个端口。因此，要使制造装置支持4个端口，就需要或配置2台机器人，或在机器人的下方安装移动机构等。但这样会增加部件个数，从而导致成本增高，整个装置的可靠性也容易降低。而此次的机器人为支持4个端口的宽度而扩大了机械臂的长度。并且，还由控制软件的改进提高了工作速度；通过机械臂的高刚性化等机器人构造的调整，使其可同时抓取2枚晶圆；并通过双指缩短了抓取时间等，提高了生产效率。（记者：长广 恭明，Tech-On