12英寸芯片生产线在沪试流片

本报讯 （记者 徐瑞哲）昨天，位于上海张江的华力微电子无人化厂房内，一条12英寸全自动芯片线上，首批55纳米工艺产品顺着轨道进入流水线，开始试流片。这标志着总投资135亿元的“909”工程升级改造项目，历经短短16个月，已建成第一条国资控股、超大规模的12英寸集成电路芯片生产线，验收后将跨入更高工艺级别。

显微镜下，一片锅盖大小的“晶圆”，集成排布着万千枚芯片。当今集成电路业界，高端“晶圆”直径渐大，可达12英寸，约30厘米；同时，代表芯片刻制细密程度的“线宽”渐小，可达45纳米以下，即不到0.045微米。专家介绍，一片晶圆从8英寸放大到12英寸，直径增加50%，单位面积上可产出的芯片数量则增加100%，技术能级翻番，规模效应显著。

“909”工程始于上世纪90年代第九个五年计划，是国家发展微电子产业重点工程的代称。工程建有一条超大规模集成电路生产线，从8英寸、0.5微米技术起步，月加工2万片“晶圆”。这条线现由上海华虹集团所属企业运营，月产能已达8.6万片。 “909”工程升级改造于去年初启动，由上海华力微电子有限公司建设运营，工艺级别为“90、65、45纳米”，月产3.5万片。新线投运后，上海国资控股的集成电路企业将形成 “12英寸+8英寸”这一国际主流的芯片制造格局，制造大量国内急需的高端集成电路，并具备承担和支撑国家“核高基”重大科技专项的能力。
据了解，上海作为国家级微电子产业基地、国家级集成电路研发中心所在地，是国内集成电路产业集聚度和配套程度最高的地区之一。

全市现有4英寸、6英寸、8英寸等规格的10余条生产线，但此前仅有一条用于研发的12英寸小产量线。这条12英寸量产线在国内率先实现全自动高效率生产，其硅片搬运系统由3246米轨道和100台搬运小车组成，每小时能完成1400多项搬运指令，抵得上一个班次300多号人力。

市经济和信息化委透露，新生产线将主要面向国内市场，计划一半以上产能满足内需，加强我国信息产业芯片供应的自主可控。运营方华力微电子已提交142项工艺专利申请，全年计划完成500项专利申请，今年第四季度开始45纳米产品的工艺研发。

作者：徐瑞哲来源解放日报)