日本人扬头赶上：尼康光刻机市场表现回勇

日本尼康公司曾经一度在高端光刻机市场上相比其对手荷兰ASML公司有所失宠，不过最近由于高端光刻机市场需求相当旺盛，尼康公司的光刻部门终于摆脱了两年以来一直赔本经营的局面。

由于市场对尼康193nm液浸式光刻工具的需求有所抬头，加上尼康LCD用步进光刻机业务情况相对稳定。上周，尼康的芯片制造设备生产部门发表的业绩报表显示部门最近一个季度的销售额达到了7.462亿美元，比去年同期的3.755亿美元提升不少，其中营运收入达到4010万美元，去年同期则为1.118亿美元。

据尼康（东京）公司表示：“本季度我们迎来了9个季度以来的首个盈利季度。”

MF Global市调公司的分析师David Rubenstein则透露，在营业利润方面，尼康公司第三季度的利润额稍微超出了预期，不过净利润方面则低于预期。

这位分析师继续分析称：“尼康的相机产品销量表现还算可以，比去年同期增长了14%，不过相机产品的单价有所下降，加上今年日元汇率的强势表现，导致相机产品的销售额反而比去年下跌了2%。另外，由于在欧美地区市场份额的强势提升，尼康的单反产品销量年同比上升4%，镜头销量则上升6%，傻瓜机型则上升20%。”

另外，尼康光刻机业务也开始扭亏为盈。第三季度IC芯片用步进光刻机的销量达到20台，比上一季度的14台和去年同期的6台都有所增加，其中ArF光源193nm液浸式光刻及的销量本季度达到了9台，而上一季度则仅6台。据分析师的估计，尼康公司在ArF光源液浸式光刻机市场上的市占率稳定在了24%左右，比上一季度略微上升，相比之下，其对手ASML公司上一季度则销售了29台ArF光源液浸式光刻机。

高端领域，在193nm液浸式光刻机市场上，尼康的客户有Globalfoundries，Intel和三星。同时尼康还在寻求在内存芯片生产设备市场上提升市占率，目前这个市场主要由其对手ASML所把持。

尼康最新的液浸式光刻机产品S620D正在迅速崛起。S620D在整体性能指标上相对领先，据尼康官方数据显示，这款机型同一晶圆批（across lot）的套刻精度可低于2nm，而不同晶圆批（lot to lot）的套刻精度则可稳定控制在≤2.2nm的水平（按3σ准则），完全可以满足32nm产品的生产制造要求，并接近22nm产品的要求；设备的产出量则可达每小时200片晶圆。( lot:晶圆批,它是晶圆制造的最小单位,一个晶圆批通常含有24～25片晶圆片)

这位分析师还表示：“尼康在LCD光刻机市场上仍保持强势地位。其第三季度销售的LCD光刻机数量达到了18台，比上一季度的9台和去年同期的14台均有提升。尽管由于近期智能手机和平板电脑的风行令小尺寸LCD面板表现较为活跃，但尼康第三季度售出的18台LCD光刻机中仍有12台是面向大尺寸面板（7/8G）的产品。由于尼康在小尺寸面板生产设备方面积极投资，因此下一年尼康在LCD光刻机市场上的销量增长可望达到20%，不过需要注意的是，小尺寸面板用光刻机的价格要比大尺寸面板用机型要便宜一些。”