金属中心 推晶圆曝光机

记者林政锋／摄影国产第一台晶圆级全自动曝光机上市，由科毅公司及金属中心合作研发成功，产品良率近百分百，价格仅进口货的一半，将销往台湾与大陆市场，前景看俏。

金属中心董事长黄启川说，积极发展高附加价值的设备研发，目前精密机电研发团队突破多项技术障碍，先后为国内数家知名厂商完成多项关键设备开发，最近第一台晶圆级全自动曝光机，顺利投产，并陆续接获来自海内外知名厂家的订单，这是国内高阶设备开发历史性的一刻。

科毅科技总经理林宪维表示，科毅凭借多年的黄光制程设备经验，在工业局与金属中心协助下开发国产第一台用于半导体封测产业的晶圆级全自动曝光机，带动半导体先进设备制造技术升级。

林宪维指出，晶圆级全自动曝光机属于精密机构、影像视觉、运动控制、微影制程等多重领域的技术整合，开发门坎相当高，因此过去IC封测厂这类自动设备全依赖进口，相对成本也偏高。

如今国产品成功上市，每部曝光机价格至少比进口货节省50%，而且产品良率接近百分百，可让产业界更有竞争力。

林宪维说，未来科毅将不断深化专精的微影曝光制程技术，并将触角由原来的半导体、LED、太阳光电等，延伸至触控与软性电子等热门产业。