国产晶圆级全自动曝光机 问世

科毅科技公司与金属中心合作成功开发国产第一台「IC封装晶圆级全自动曝光机」，昨日举行记者会，展现国人的骄傲；该机在产能、自动对位精度、系统整合稳定性等，都能媲美进口机种，甚至超越，尤其价格只要进口机种约50％，可大幅降低业者设备的采购成本，提升竞争力。

全自动晶圆级曝光机过去100％仰赖德、日等国进口，金属中心与科毅科技，在经济部工业局「主导性新产品开发计划」的支持下，投入研发，历经2年克服众多技术难题，机械终于在今年6月问世；该机可应用于IC半导体、LCD、LED、太阳能及时下最夯的触控面板等产业，每年需求超过200台。

科毅科技总经理林宪维在记者会表示，该「晶圆级全自动曝光机」由于性能确实不输给进口机种，价格更具竞争力，推出后，至今已接获7台订单，且由于太阳能、触控面板产业正夯，加上中国大陆需求殷切，该公司掌握竞争利基，预估明年销售将有爆发力，全年上看15台以上。

科毅是国内半导体微影制程设备制造厂，在黄光制程与设备制造颇为专精；该公司过去在半自动光罩对准曝光机领域，已有超过300台的销售实绩；本次在金属中心的关键技术移转与辅导下，顺利完成国人自主的「IC封装晶圆级全自动曝光机」的开发，可谓将我国先进设备制造技术，推进另一个崭新的里程碑。

金属中心执行长伏和中表示，该中心有很多的技术如影像视觉、定位等在全球都属顶尖级，未来将透过与更多产业的合作，为台湾的高阶设备国产化贡献更多心力。