GlobalFoundries进军大规模MEMS制造
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GlobalFoundries宣布与SVTC Technologies合作,加速大规模MEMS制造的进程,目标是成为MEMS代工业的领导者。
GlobalFoundries表示要将其MEMS工艺发展成类似于CMOS的标准工艺。
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http://www.edn.com/article/510924-GlobalFoundries_looks_high_volume_manufacturing_of_MEMS.php