台积电跳过22nm,直接从28nm到20nm
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台积电公司发言人蒋尚义表示,20nm工艺的转换将会带来极高的栅密度以及优于22nm工艺的性价比。新的20nm工艺将会采用增强型高K金属栅极(HKMG)、应变硅、低电阻铜超低K等连接技术。此外还包括有创新的patterning技术以及布局设计方法等。
预计20nm制造工艺技术将会在2012年下半年开始进行试产。
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台积电公司发言人蒋尚义表示,20nm工艺的转换将会带来极高的栅密度以及优于22nm工艺的性价比。新的20nm工艺将会采用增强型高K金属栅极(HKMG)、应变硅、低电阻铜超低K等连接技术。此外还包括有创新的patterning技术以及布局设计方法等。
预计20nm制造工艺技术将会在2012年下半年开始进行试产。