在上海拥有生产基地的蚀刻装置厂商AMEC增资4600万美元

蚀刻装置厂商中微半导体设备（AMEC）宣布增资4600万美元（该公司的英文发布资料）。该公司在上海拥有开发生产基地，在新加坡拥有销售基地。自2004年创业以来，从风险投资公司的融资总额超过了1亿5000万美元。

此次筹集的资金将用于AMEC的蚀刻装置“Primo D-RIE”的开发与制造。预定2010年内开始供应新型Primo D-RIE。

据称，已投产的Primo D-RIE主要面向65nm及45nm工艺，具有可支持32nm以后工艺的扩展性（参阅本站报道）。该公司表示，有5家亚洲半导体厂商购买了Primo D-RIE，主要用于65nm及45nm工艺的量产。购买企业为代工厂商及内存厂商等，并已收到追加购买订单。