台积电持续投资欧洲半导体业

这项设备将安装于台积电的超大晶圆厂——台积十二厂，用以发展新世代的工艺技术。台积电也将成为全球第一个可以在自身晶圆厂发展超紫外光微影技术的专业集成电路制造服务业者。

【IT商业新闻网讯】（记者 周元英）2010年2月22日，台积电与荷兰ASML公司共同宣布，前者将取得后者的超紫外光微影设备，是全球六个取得这项设备的客户伙伴之一。

这项设备将安装于台积电的超大晶圆厂——台积十二厂，用以发展新世代的工艺技术。台积电也将成为全球第一个可以在自身晶圆厂发展超紫外光微影技术的专业集成电路制造服务业者。

相较于现行浸润式微影技术以193纳米波长当作光源，超紫外光微影技术导入更短波长的光源，将有机会降低生产成本，而成为集成电路制造更先进技术世代一个有潜力的选择。TSMC目前正在对超紫外光及其他微影技术的最佳成本效益的潜力进行评估。

台积电研究发展资深副总经理蒋尚义博士表示：经由ASML和其他公司，欧洲半导体业将在台积电未来工艺技术的发展上，继续扮演重要的角色。

ASML公司执行副总裁暨产品及技术长Martin van den Brink表示：ASML已经为逻辑、动态随机存取记忆体、NAND快闪记忆体及专业集成电路制造服务等芯片制造的主要领域提供超紫外光设备。