Sematech称450mm晶圆技术已进入“测试晶圆”阶段
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尽管晶圆设备商对450mm晶圆强烈抵制,Sematech仍然宣布继续进行450mm晶圆技术的开发,称目前已到了“测试晶圆”阶段。
该芯片制造协会正在开发450mm晶圆原型,并向会员公司出货。Sematech同时还在为该技术准备净化间。
Sematch一直是450mm晶圆的带头者,已经在Austin设计了450mm晶圆“测试床”。
Sematech同时还向会员公司提供450mm晶圆,在刻蚀等设备中进行处理。“我们已经到了450mm阶段。我们还在前进,但是还存在一些问题。”
据报道,Intel、TSMC和Samsung都将各自在2012年之前建成450mm晶圆厂。业界有些人认为,450mm将无法实现,因为研发成本实在太高。
相关链接(英文):
http://www.eetimes.com/news/latest/showArticle.jhtml?articleID=220900079
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