Sematech坚持发展450mm晶圆技术 透露新进展
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尽管IC市场低迷,但研发机构Sematech坚持关注于450mm设备技术的进展,并宣布几项新的措施。
在近日的一次演讲中,Sematech称450mm技术正在朝“实质工艺”的方向发展,450mm研发将在Sematech以及其他地方开展。
Sematech已推出了用于研发的450mm晶圆,并订购了不同的测量设备,且更新了工厂的自动化程度。
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http://www.eetimes.com/news/semi/showArticle.jhtml?articleID=218102120&pgno=1