Crossing Automation推出优化真空晶圆搬运系统

Crossing Automation推出为真空晶圆搬运系统所提供的自动化部件模块产品系列ExpressConnectTM。其neutral approach的结构取代了大部分集束型设备常见的传统集中化晶圆搬运设计，并且可减少20-70%的所占空间，具有更高的弹性、更低的成本、更高的生产力和吞吐量高达每小时250片晶圆。ExpressConnect由5种基本部件所组成，其目的在于为晶圆自动化产生无限的设定组合。其系统架构使用简单的线性移转装置和简化的控制算法以提升效率与控制可靠度。Crossing提供数种不同基本架构的ExpressConnect模块子系统，以作为工具层级晶圆自动化的标准基础，提供真空搬运系统与其管理，让设备制造商能够在自己的制程工具当中重新全面掌控上游与下游的参数。

Crossing Automation，www.crossinginc.com