MOCVD自主生产推动LED产业快速发展

12月12日，我国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备在上海张江高新区核心园发运。有关专家表示，这不仅标志着我国在实现大型MOCVD设备国产化战略目标的征途上迈开了具有里程碑意义的一步，而且充分体现了中国有能力在高端装备领域实现跨越式发展。
据介绍，MOCVD是在气相外延生长基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。作为LED芯片生产过程中最为关键的设备，MOCVD的核心技术长期被欧美企业垄断，严重制约了我国LED产业的健康发展。随着半导体照明逐渐成为LED产业发展的主要推动力，现有被垄断的设备已不能满足LED大规模生产和产业高速发展的需要。
今年1月18日，中晟光电设备(上海)有限公司成功实现了拥有自主创新知识产权的大型国产MOCVD设备下线，并用10个月时间对工艺和设备进一步改进优化;在此基础上，又完成了4家客户的多次实地考察，操作设备和验证各项工艺。客户对中晟MOVCD的评价是：具有目前世界上最高的系统产能、最低的外延生产成本、良好的波长均匀性以及大规模外延生产所需的各项关键性能。