MEMS技术应用领域广阔，助医疗设备更完善

MEMS(微机电系统)技术在动作、加速度、倾斜角以及振动等传感器中应用日益广泛。目前，MEMS传感器属系统级封装(SiP)解决方案，具有高分辨率、低功耗以及小尺寸等优势。
MEMS加速度计和陀螺仪可成功实现更多符合成本效益、采用动作感应功能的设备。MEMS运动传感器为手机、MP3/MP4播放器、PDA或游戏机带来更直观的人机界面，把用户手腕、手臂和手的动作与应用程式、页面内部及页面之间的浏览、游戏机中的人物动作等功能连接起来，实现真正的人机即时互动。
资料保护是MEMS传感器在便携设备中的另一种应用。当出现自由落体或者其它异常动作时，MEMS加速度计可即刻停止系统上全部硬盘驱动器(HDD)的读写操作，并且将硬盘驱动器上的读写头固定到安全位置。此外，MEMS加速度计也广泛用于整合洗衣机或干衣机等家电中，可作为振动检测器，用于稳定失衡的负荷，以防止机器产生过多不必要的磨损故障。
MEMS陀螺仪、角运动传感器、用于人机界面的辅助加速度传感器，为游戏机和遥控器带来更生动的用户体验。陀螺仪可以提高数字摄像机和数码相机的影像与照片清晰度，提升汽车导航系统的航位推算和/或地图匹配性能。由于在建筑物内或高楼林立的市区，通常没有GPS信号，航位推算系统可通过监测动作、行驶距离和纬度，修正数字罗盘的读数，为用户不间断地提供准确的导航资讯。
压力传感器可满足应用对全量程和高分辨率的要求：应用实例包括手持设备的气压计功能和硬盘驱动器的“飞行高度”控制功能。随着硬盘驱动器小型化的趋势和容量不断地提升，读写头与硬盘表面之间的距离容易因为气压变化而受到影响。
微机电声学器件、或MEMS麦克风可提高现有和新兴应用的音质、可靠性以及成本效益，包括手机、笔记本电脑、摄像机、数码相机以及助听器或电子听诊器。将多个MEMS麦克风组合成一个阵列可实现更多的功能，例如噪音抑制和方向拾音等。随着人们在噪音很大和无法控制的环境内使用手机的频率日渐增加，这个功能对于提高声音清晰度有很大的帮助，同时可提高手机通话与会议的音质。