台湾晶圆厂选择ASM的Pulsar原子层沉积技术工具

ASM International N.V. 宣布一家台湾晶圆厂为其28 奈米节点high-k 闸极介电层量产制程选择ASM的Pulsar 原子层沉积技术(ALD)工具。

除此之外，此家晶圆厂也将与ASM针对最新世代的high-k闸极技术进行制程开发活动。 ASM 在2009年第2季将针对进阶节点开发计划提供额外的 Pulsar 制程模块。该晶圆厂在过去4年也使用ASM的ALD high-K和金属闸极设备来开发其以铪基材料为基础的high-k 闸极制程。

在28 奈米节点上实现成功的high-K制程证明了ASM在制程当中整合新材料的优异能力。」ASM晶体管产品业务事业部经理Glen Wilk表示。「我们的high-K制程证明了在28奈米节点上的生产能力，我们也期望进一步的开发成果能够将这些利益延伸到未来的节点上。」

ASM的Pulsar是第一款用于high-k 闸极量产的工具，其由45奈米节点开始采用，现在已经延伸至28奈米节点。