意法半导体在即将到来的运动感应消费电子热潮中乘风破浪
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“这一成功证明我们的MEMS愿景是正确的,几年前,我们认为新型MEMS技术能够创造激动人心的全新的消费应用,于是决定集中资源开发MEMS技术,”意法半导体产品部门副总裁兼MEMS与健康保健产品、射频技术和传感器产品分部总经理Benedetto Vigna表示,“在2006年以前,MEMS传感器的应用领域很窄,仅限于如安全气囊碰撞传感器等少数应用,因为体积庞大,功耗极高,成本昂贵,无法用于消费产品。”
通过设计开发新的MEMS结构,获取新技术的专利,在保证高性能的同时,缩小器件尺寸,提高可靠性,降低耗电量,意法半导体解决了前两个难题。为解决第三个难题,公司于2006年迈出大胆的一步,投资4000万美元建立世界最先进的MEMS生产线。 2006年11月,意法半导体在米兰近郊的Agrate地区落成一个200mm(8英寸)晶圆制造厂,专门制造MEMS产品,如加速传感器、陀螺仪和压力传感器。
“得益于半导体器件的同步加工工艺,晶圆片的直径提高了50%,芯片数量增加了一倍多,同时,这种技术还大幅度降低了芯片的单位成本。”Vigna表示,“意法半导体是世界唯一拥有一条200mm生产线的MEMS厂商,这意味着我们能够为客户批量提供精确而可靠的产品,而且价格满足他们创造激动人心的全新消费电子应用的要求,这就是我们所做的一切。”
在MEMS线性运动传感器取得巨大成功后,意法半导体扩大了产品阵容,新增加了微型MEMS陀螺仪。这类传感器可检测倾斜和角速度,特别适合更复杂的游戏机、虚拟现实传感器、运动控制、指示设备,以及汽车导航功能,如航位推算和地图匹配等。