Sematech:2010年将推出450mm晶圆试用设备
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芯片制造协会Sematech计划于2010年前推出32nm制程的450mm晶圆试用设备,2012年推出22nm制程的450mm晶圆“试水线”。
Sematech没有透露450mm晶圆厂何时可以投产。据报道,英特尔、台积电和三星分别表示2012年左右推出450mm晶圆厂原型。然而业界有观点认为450mm晶圆厂永远都无法出现,因为研发成本实在太高。
虽然广大设备制造商不愿意在450mm设备上投入,但Sematech副总裁Scott Kramet表示,450mm晶圆大势所趋。
Kramer透露,设备商已开始为开发450mm设备做准备。但他未透露是哪些设备商。在开发450mm设备的同时,Sematech宣称已在“下一代工厂(NGF)”项目上取得了进展,该项目针对300mm晶圆制造,以降低300mm生产线的成本及缩短生产周期。