科磊透过并购策略强化晶圆级量测市场地位

    也因此科磊今年并购了两家晶圆级量测业者─OnWafer以及SensArray公司，使得科磊成为目前市场上唯一一家能够提供晶圆级量测设备的厂商。

    科磊的Promesys部门业务开发总监王时庆解释说，SensArray公司成立于1987年，是市场上首先推出晶圆级量测方案的业者。它是透过将传感器(Sensor)内建于晶圆上，以便能在制程中实时进行相关的量测。但SensArray的方案是采有线的传感器设计。而另一间OnWafer公司则是成立于2000年，并开发出无线的晶圆级量测方案。

    科磊今年并购了这两间公司后，则将其产品与技术整合，成立了Promesys部门(processmetrologysystems等前缀的简称)，并于日前推出新的SensorWafers产品。

    王时庆表示，在电浆蚀刻(plasmaetch)制程中，如何对关键尺寸(criticaldimension)以及组件效能进行控制，是一重要关键。但整个蚀刻的硬设备非常复杂，且维护的成本也很昂贵。

    为了解决半导体业者的这些问题，科磊推出的SensorWafers产品，可透过晶圆上内建42个温度传感器的PlasmaTemp，或是另一套内建7个可量测电气特性传感器的PlasmaVolt，能够在蚀刻过程中实时量测出晶圆上所有位置的温度与电压变异。

    王时庆指出，透过这样的方式，业者可以在最短时间内了解晶圆的温度变化情况，并予以调整，以解决各个蚀刻chamber中因制程参数变异而产生的缺陷，并能够正确的评估蚀刻chamber的效能。透过这种晶圆级量测技术，不但能够进行更佳的制程控制，同时也能免除传统利用许多测试晶圆进行量测的时间与成本。

    王时庆强调，合并两家公司后，科磊将持续进行技术与产品的整合，希望能为业者提供更完整的晶圆级量测方案。