长野计器新型压力传感器问世
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金属玻璃由日本金属材料研究所教授井上明久开发,长野计器采用了锆基和镍基两种金属玻璃。与现有压力传感器的振动板使用的不锈钢SUS630相比,拉伸强度高达其1.5~2.5倍,而杨氏模量却只有其1/2~3/4。也说是说,金属玻璃具有高强度、低杨氏模量的特点,作为压力传感器使用,高强度可提高耐压性能,低杨氏模量可提高灵敏度。
振动板的加工方法方面,原来的SUS630采用切削,而新型金属玻璃则是射出成形。应变片由蒸镀而成、检测压力的部分最薄,厚度在1mm以下。虽然变减薄后灵敏度会提高,但是对压力的线性则会变差,因此不能太薄。
目前已经开发出了在压力传感器模块中配备可将检测到的压力转换为电流的电路的压力转换器,成本与量产产品差不多。
长野计器已经成为压力计测领域全球四大的器件供应商之一,其压力传感器在欧洲市场的占有率已达30%,在全球市场的占有率达20%,年营业额达200多亿日元,NAGANO KEI和NKS已经成为深得全球用户信赖的著名品牌。