韩国汉城大学一个研究小组近日成功开发出一种利用现有
集成电路生产设备大量生产纳米
元器件的技术,成品元器件具有高集成度和
高精度。
该技术可以使用目前标准
集成电路生产设备。研究发现,在硅基片的选定位置覆盖非吸附性分子膜,然后在基片上涂布含有碳纳米管或纤维的溶液,纳米材料可以在分子膜为覆盖的位置自动地组合到一起,形成一个完成的纳米
元件。研究人员强调说,这一过程在数秒钟内即可完成,且获得的
元件的精度达到纳米级。研究小组利用这项技术,已经制造了大量“高性能半导体集成电路”以及“超高灵敏度生物探头”等
元器件。最近,该小组开始接受纳米集成电路的订货加工。