ATDF为Elpida开展FinFET存储器研究
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Sematech产业联盟的全资子公司Advanced Technology Development Facility(ATDF)已经同意为Elpida Memory公司生产基于FinFET以及新型存储器技术的晶圆。
ATDF与日本的主要DRAM制造商Elpida公司达成了两个项目协议,评估2010年后使用的材料和工艺。ATDF将制造包含采用注入(inplant)和鳍片(fin)设计的非常规CMOS晶体管的晶圆。
Elpida公司首席技术官Takao Adachi表示,由于Elpida的开发设施的配置主要用于批量生产,ADTF为其生产R&D原型产品恰好满足了该公司对先进技术的需求。
自从ATDF公司在2004年作为一家公司存在出来,该公司已经成为了多家公司的R&D代工厂,包括AMD、Infineon Technologies AG、Mattson Technology、Soitec SA和德州仪器公司。ATDF公司在2005年9月宣布与进行研究和工程咨询的Thunderbird技术公司合作,开展称为Fermi-FET的研究。