博世MEMS累计产量突破30亿个

微电子机械系统(MEMS)可喻为现代移动设备的眼睛与耳朵也是其所有的其它感官。德国博世(BOSCH)公司正在使用这些微型高新助手引导车辆以及现代电子装置如何感知周围世界。原本为汽车电子设备开发的元件现在广泛应用于智能手机、笔记本、平板电脑、游戏控制台以及运动手表。若没有这些高度灵敏的测量仪器，许多车辆以及电子装置的最新功能包括ESP?电子稳定程序以及利用手势替代按键操作智能手机都将难以想象。

博世微电子机械系统传感器

博世提供的传感器广泛应用于消费类电子产品以及汽车产业。这些传感器可测量压强、加速度、转动、流量以及地球磁场。博世自MEMS问世以来，一直处于相关科技前沿，目前在极富活力的MEMS传感器市场销量遥遥领先于其他供应商。自1995年投产起，公司已生产了30多亿个MEMS传感器，历年来产量屡创新高。博世用13年制造了10亿个MEMS传感器，在随后三年达到20亿个，然后仅用了18个月突破30亿大关。在2012年，通过位于罗伊特林根最先进的晶片厂实现6亿的产量即日产240万个。

博世汽车电子事业部总裁Klaus Meder说：“如果没有MEMS传感器，汽车或消费类电子产品都将难以想象。未来通过物联网以及服务网，它们可以作为系统和物体连接的耳目。”

汽车及智能手机的微型高新助手

MEMS传感器是博世制造的最小产品。它们首次应用于汽车电子设备，且自1995年起，博世一直致力于生产适用于汽车的精密传感器。例如，记录车辆围绕纵轴的旋转运动的偏航速率传感器是ESP?的心脏，当今现代车辆设备都搭载了50个MEMS传感器。对于汽车而言，MEMS的可靠性与稳定性尤为重要，这直接影响着道路使用者的安全，其次是尺寸及能耗。但是对智能手机或游戏机而言，情况截然不同，这就是为什么博世在近年来将传感器尺寸缩减到原来的五十分之一。最新一代传感器在外壳中整合了众多功能，只有几平方毫米，能耗降低100倍。

博世传感技术

为快速灵活满足消费类电子产品市场的巨大需求，2005年，博世在罗伊特林根成立博世传感技术股份有限。该公司最近推出世界上首个九轴传感器。BMX055能同时在三种空间方向测量加速度、偏航速率以及地球磁场，因此能广泛适用于各种潜在用途。传感器可准确定位手机等设备的空间和地理位置或相对于地球磁场的方向还可以装配到微小设备中。

MEMS传感器技术背景

工程师在传感器内创造了极为精细的硅结构，它会随着外壳移动产生几分之一微米的位移。这可以改变传感器的电气性质，这些电气性质可以测量并转化为数据流，以告诉手机现在所处位置。

博世工程师正在研究尺寸微小的传感器：人类头发直径约为1毫米的百分之七(70微米)，一些传感器的元件仅有4微米比一根头发还要细17倍。

因为微机械传感器只能产生弱电子信号，专家将附加电子设备整合到传感器外的元件外壳或者直接加入到同一芯片中。这样传感器可以接受弱信号、加工信号以及放大信号，然后将之转化为数字数据。通过这种方式，MEMS传感器能将测量结果直接传递给控制设备。在不久的将来，这些精密传感器就可以担负更多任务。例如，缝入衣物中测量您的心率，用作移动气象台，测量空气中CO2 浓度，或当手机放置于口袋中时可以采集我们的典型动作，以此关闭显示屏。