欧洲IC制造商订购多套ANTARES®超凝态过冷动力学清洗系统

FSI国际有限公司(纳斯达克:FSII)今日宣布：一家领先的欧洲集成电路制造商在现场评估项目成功地验证了缺陷排除之后,已经购买多套ANTARES®CX超凝态过冷动力学清洗系统。这些系统将用于先进器件平面结构或元件结构的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。这批系统的营业收入预计将记录在2005财年的前半年。
“由于超强的工艺性能，ANTARES系统正被应用于大批量的制造中，”FSI国际有限公司董事长兼首席执行官Don Mitchell说到，“该客户和其他客户发现ANTARES超凝态过冷动力学清洗技术在缺陷排除方面非常有效，并且对敏感的元件结构不造成损伤，这项技术正在替代用于器件生产的传统技术。我们已经为客户提供了一些评估系统，并且在全球看到了对该技术强烈兴趣。这些订单标志着第13个集成电路制造厂将应用ANTARES系统的领先使能技术。”
这项评估验证了其他的ANTARES系统用户使用超凝态过冷动力学技术排除缺陷的优点。许多客户已经发现ANTARES系统显著地提高了成品率、降低了器件试产时间以并提供一个优异的投资回报。
ANTARES系统是一种全自动的、单晶圆、用于300mm和200mm晶圆的超凝态过冷动力学系统，它具有经过生产现场验证过的去除表面微粒缺陷和提高客户成品率的应用历史。 AspectClean™ 工艺推出于2003年9月，它提供了客户在先进工艺中使用ANTARES系统必需的缺陷降低功能。ANTARES系统提供全干的、非化学反应的方法从FEOL和BEOL平面结构和元件结构上取出缺陷，包括在低介电系数结构中无损伤、不改变介电系数值或损伤内联层材料本身，这种方法与传统方法相比具有明显的优势。