国产MOCVD设备下线 有望降低LED成本

国产LED(发光二极管)外延芯片核心设备MOCVD(金属有机物化学气相淀积)近日在广东昭信半导体装备制造有限公司成功下线。去年1月，昭信集团与华中科技大学签约研发LED外延芯片核心设备MOCVD，不到一年，这一设备成功推向市场。广东昭信半导体装备制造有限公司总经理甘志银表示，一旦国产 MOCVD设备产业化推向市场，将使LED芯片生产投资成本大大降低，给国内LED产业带来革命性影响，国内甚至国外的LED封装产品价格将大大下降。国产LED核心装备正在突围，但是，国产MOCVD设备的成功下线能否改变LED外延芯片核心装备市场格局还有待市场的检验。

设备国产化大大降低LED成本

MOCVD是LED外延芯片生产过程中最重要的设备，目前，世界范围内能够生产这一设备的企业也不过3到5家，主要包括德国爱思强(Aixtron，70%国际市场占有率)、英国托马仕雯(ThomasSwan，被Aixtron收购)、美国维易科(Veeco，20%国际市场占有率)、美国Emcore(被Veeco收购)、日本大阳酸素(Sanso，7%国际市场占有率，主要在本国销售)。国内LED厂家所需的设备必须进口，而此类设备每台约需1500万元，购置成本约占整个LED生产线成本的2/3。苏州纳晶光电有限公司董事长、中科院苏州纳米所研究员、博士生导师梁秉文博士表示，MOCVD等关键设备国产化的成功必定意味着LED成本的降低。“目前，这些设备相对而言非常贵，正常情况下，在最初几年，设备的折旧大约占整个LED芯片成本的12%-40%左右，因此关键设备的国产化会大大降低LED的制造成本。”梁秉文表示。

福建省光电子行业协会秘书长、原中国光学光电子行业协会光电器件分会秘书长彭万华在接受记者采访时表示，目前全球能制造MOCVD 外延炉设备的有美国、德国、日本和韩国，我国也有几个单位研制了MOCVD设备，也出过样机供使用单位试用，但不知为什么就没有进展下去。“因为 MOCVD设备是LED产业发展的最关键设备，对LED产业发展具有举足轻重的作用，国家相关部门要集中原来试制MOCVD设备的单位的人才和资源，集中投入进行重点开发，解决制造设备中的关键技术，掌握具有自主产权的核心技术，并尽早实现MOCVD设备国产化量产。只有这样才会加快推动LED产业发展，降低LED相关产品的成本，实现更大的产业发展。”彭万华认为。

随着技术的发展和LED在绿色节能方面日益凸显的优势，LED在各个领域得到了越来越广泛的应用，最初的技术障碍渐渐被消除，LED发展日新月异，旺盛的需求也刺激着LED芯片核心生产设备———MOCVD朝着低成本、高性能、高产能的方向发展。

工艺与设备相结合是推广关键

没有设备的工艺一定是纸上谈兵，没有工艺的设备将是无源之水。南昌大学副校长、晶能光电首席科学家江风益教授在接受《中国电子报》记者采访时表示，开展生产型 MOCVD设备要充分考虑工艺与设备的结合，设备和工艺两者都不能偏废。江风益建议，国家不但要资助MOCVD设备的研发，还要在研发阶段资助外延生产企业去试用MOCVD。因为在试用过程中，企业不是稳定生产，需要耗巨资根据设备特性摸索外延生产工艺。要摸索出成功的外延生产工艺所花费的人力物力财力，甚至要超过设备本身的研发费用。

中国LED产业要想健康、迅速的发展，一定要在关键设备上下工夫。梁秉文认为，MOCVD等关键装备是一个体现国家意志的事，国家一定要大力地投入，全面地支持去做这件事。特别要注意工艺与设备的结合，要鼓励外延芯片厂商应用国产设备，同时要给予一定的资助。

作为设备的制造商，不断完善设备各种性能，适应客户需求是永恒的主题。甘志银表示，在样机下线后，他们的研发团队还将闭关约4个月，他们会根据客户的数据要求，对该设备进行调试，到第5、6月份就将进入量产并接受订单。“我们正在数据整理过程中，我们会用最短的时间给我们的客户一个满意的答案，我们做这台设备的目标就是要直接与国外产品进行竞争，我们会不断地展示并完善我们设备的进展，最终让设备走向市场。”甘志银在接受《中国电子报》记者采访时表示。

随着LED应用的不断深入和扩展，上游关键设备的产业化必将得到进一步发展。甘志银表示，昭信还将会陆续推出更高产能的单腔与多腔体设备。我们有理由相信，昭信半导体MOCVD设备将成为改变中国乃至世界MOCVD设备市场格局的重要力量。