沈阳IC装备基地升格“国家级” 投入资金4亿元
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记者从沈阳市浑南新区获悉,由沈阳市政府与浑南新区共同组织申报的“沈阳集成电路(IC)装备产业化基地”项目,被科技部正式批准为“沈阳国家集成电路装备高新技术产业化基地”。这是目前科技部认定的国内唯一一个国家集成电路装备产业化基地。
沈阳集成电路装备产业始建于2002年,累计投入资金4亿多元。经过多年的建设,集成电路装备生产企业已从最初的两家发展到现在的37家,其中,骨干企业达到11家,申报专利近100项。基地主导产品已在国内半导体加工、医疗器械、太阳能电池等行业得到广泛应用。
目前,沈阳集成电路装备产业基地建有集成电路装备检测、精密零部件加工和洁净技术平台,拥有目前国内唯一的集成电路装备孵化器,正在孵化的企业已达30余家。