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[导读]近几年来,台湾设备产业积极转型布局太阳光电产业,在薄膜太阳能方面,其中铜铟镓硒(CIGS)技术尤其受到设备业者的青睐,包括均豪、志圣及富临等业者皆投入,在设备业者推动下,促成CIGS产业联盟成立,在第1阶段推动计

近几年来,台湾设备产业积极转型布局太阳光电产业,在薄膜太阳能方面,其中铜铟镓硒(CIGS)技术尤其受到设备业者的青睐,包括均豪、志圣及富临等业者皆投入,在设备业者推动下,促成CIGS产业联盟成立,在第1阶段推动计画中,设备业者也扮演先锋部队,目前以均豪为首,已有7家材料设备厂加入,预计于2011年陆续推出设备机台,并期望于2012年推出整线设备(turn-key)。

由于CIGS具有较高的转换效率,吸引不少材料设备业者投入,包括志圣投入硒化炉,真空设备商富临开发的G3.5溅镀PVD生产设备,已出货给台系太阳能业者,并成功试产出CIGS薄膜太阳能电池,转换率可达13%,另外也投入开发硒化炉,采用硒化氢(H2Se)为主要反应性气体的硒化技术。至于均豪也基于其面板设备的基础,投入溅镀(sputter) 设备的开发。

根据工研院报告指出,目前在CIGS设备中的潜力设备厂商包括均豪、北儒、志圣、钦扬、友威、睿明、台技等。在大面积制程中,目前台湾已经具备的设备包括吸收层设备、硒化设备、靶材与雷射画线机等。至于正在发展中的设备包括快速升温(RTP)硒化、硒化氢(H2Se)硒化、 CBD镀膜及共蒸镀机台等。

不过均豪董事长叶胜发指出,CIGS设备开发投资金额大,中小企业负担沈重,但若设备业没有先开发出设备,就难以带动整个产业界往前走,因此号召成立CIGS联盟,希望政府能投入支持设备产业。尤其CIGS太阳能的开发重点是设备、材料与制程,必须三方面合作才行,在资金面上,希望政府能尽快提出法人科专或是学界科专,加速设备发展。

工研院太电中心主任蓝崇文指出,CIGS联盟以2012年推出转换效率12%的整线设备为目标,其中第1阶段从2010年7月到2011年底,以建立关键设备与材料能力为主,第2阶段则从2011年底到2012年底,目标已推出整线设备为主。未来并布局次世代技术,包括非真空软板卷对卷(Roll to Roll)与新材料技术。

叶胜发进一步指出,目前以均豪为首,共有7家材料设备业者加入联盟,初期分别投入开发单机机台,如均豪开发溅镀设备,志圣开发硒化炉,另有业者开发模块段设备及机械印刷设备等等,第1阶段预定转换效率为10%,第2阶段预计将转换效率提升至12%,并且将各家业者的设备整合,推出整线设备。

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