EDWARDS发布IXL120 面向真空半导体工艺应用
时间：2010-07-09 09:22:34
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[导读]全球领先的真空设备供应商Edwards近日发布iXL120设备，拓展了其面向半导体制造工艺的干泵设备产品。iXL120具有专为负载时钟和其他清洗应用的设计，在同等产品中可达到最快速的抽取速度，同时还具有低能耗、高吞吐量的
全球领先的真空设备供应商Edwards近日发布iXL120设备，拓展了其面向半导体制造工艺的干泵设备产品。iXL120具有专为负载时钟和其他清洗应用的设计，在同等产品中可达到最快速的抽取速度，同时还具有低能耗、高吞吐量的特点，降低拥有者成本。
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