ASML TWINSCAN系统实现新的里程碑

ASML近日宣布，两位使用TWINSCAN 光刻机的芯片制造商实现了生产新纪录，即在24小时内实现了超过4000片晶圆的处理。这个里程碑记录是在XT:870和XT:400上实现的，两家使用者为亚洲的不同客户。设备帮助他们提高了300mm光刻生产能力。

ASML和客户一直致力于共同提高ASML光刻机的生产能力。ASML努力改善光刻机的硬件和软件，而客户则专注于改进工艺菜单和制造工艺。

衡量共同努力的一项关键指标就是一天之内处理的晶圆数量。另一项衡量指标是设备能够在365天内实现100万片晶圆处理。第一台实现一年内处理超过100万晶圆的ASML TWINSCAN系统的是TWINSCAN XT:400E iLine，时间是在2007年10月。现在已有超过200台设备达到了这个指标，包括了iLine、KrF和ArF，以及超过25台浸入式光刻机。另外，最快实现100万晶圆处理的时间是37周。

“光刻机这样复杂的设备能实现生产的里程碑，这是我们的员工和客户共同努力合作的结果。”ASML CMO和执行副总裁Frits van Hout说，“为客户提供高生产效率一直是ASML的目标。我们将一如既往的提升我们的价值。”