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[导读]据中国电子专用设备工业协会统计的数据,2009年我国电子专用设备产业销售收入仅占我国电子信息产业总销售收入的2%,这和我国为电子信息产品生产大国是不相称的,特别是集成电路设备、平板显示器设备、发光二极管设备

据中国电子专用设备工业协会统计的数据,2009年我国电子专用设备产业销售收入仅占我国电子信息产业总销售收入的2%,这和我国为电子信息产品生产大国是不相称的,特别是集成电路设备、平板显示器设备、发光二极管设备和表面贴装设备中的关键设备大部分仍然需要依赖进口。因此,国内设备厂商应该利用自己在半导体设备领域积累的经验,积极涉足目前新兴产业,在光伏LEDLCD等领域,紧跟行业形势,积极开发自动化、节能、高效的设备,提高产品技术含量,进一步满足市场需求。

我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力。而在大规模生产中,产品稳定性非常重要,真正要达到较高的光电转换率,对于硅材料质量以及工艺技术水平要求都很高,而设备的可靠性、自动化程度又直接影响企业的竞争力,因此今后光伏设备将以提高电池转换效率、降低生产成本、节能环保为发展目标。设备企业要加强新工艺、新技术的研制开发,不断提升设备的适应性,开展技术创新,提高设备工艺物化,从设备和工艺两方面来提高转换效率、降低光伏成本。

LED生产过程中需要很多设备,从蓝宝石衬底加工用的单晶炉、多线切割、研磨抛光等设备,到MOCVD(金属有机化合物化学气相淀积)、退火炉等设备,再到与IC芯片工艺相类似的设备,如光刻机、刻蚀机、清洗机、蒸发镀膜等,最后到封装用的固晶机、金丝/铝丝球焊机、分选机等等,种类繁多。其中,MOCVD、等离子刻蚀机等是技术含量很高的设备。在所有的LED设备中,没有哪一种设备像MOCVD一样,在整个LED生产设备投资中占如此大的比重。国产LED设备厂商必须从MOCVD设备开始取得突破,才能逐步向前道和后道工艺设备不断扩展,最终实现整个产业链的全部设备国产化。MOCVD设备的技术门槛很高,需要克服很多困难,投入大量的人力、物力、财力,整合各种优势资源。此外,国产设备要想在LED产业大发展过程中有所作为,一定要在稳定性和一致性上做好文章。

政府应积极倡导建立技术创新基金和技术创新风险投资基金,促进和推动电子专用设备企业技术创新快速发展。国家应进一步引导整合行业,加大投入,特别是把解决当前急需与国际化结合起来,把解决高中低端技术结合起来布局。在国家的扶持下,企业间应加快建立专用设备重点实验室,走设备与工艺研究、开发相结合的道路。

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