Altatech Semiconductor获得德国科研机构的CVD设备订单
时间：2011-02-13 09:22:34
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[导读]Altatech Semiconductor获得了一份多功能AltaCVD平台订单，该订单来自德国慕尼黑Fraunhofer Research Institution。该200mm AltaCVD系统可用于等离子体增强CVD工艺，也可用于低于气压的CVD工艺，Fraunhofer中心将用该
Altatech Semiconductor获得了一份多功能AltaCVD平台订单，该订单来自德国慕尼黑Fraunhofer Research Institution。该200mm AltaCVD系统可用于等离子体增强CVD工艺，也可用于低于气压的CVD工艺，Fraunhofer中心将用该设备在硅晶圆和SOI晶圆上淀积介质层。
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