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[导读]晶圆代工龙头台积电5日宣布加入微影设备大厂荷商艾司摩尔(ASML)的「客户联合投资专案」(CustomerCo-InvestmentProgram),总投资金额高达11.14亿欧元(约新台币407亿元),包括取得ASML的5%股权,并加入极紫外光

晶圆代工龙头台积电5日宣布加入微影设备大厂荷商艾司摩尔(ASML)的「客户联合投资专案」(CustomerCo-InvestmentProgram),总投资金额高达11.14亿欧元(约新台币407亿元),包括取得ASML的5%股权,并加入极紫外光(EUV)及18寸晶圆设备的研发计画。

根据台积电及ASML达成协议,台积电将投资ASML约8.38亿欧元,在ASML第2阶段释股中,取得该公司5%股权,每股认购价格与英特尔相同。台积电承诺未来5年共投入2.76亿欧元,加入ASML发起的18寸晶圆设备及EUV微影技术研发基金,占该基金出资额约2成。

英特尔7月宣布参与ASML研发基金及股权投资计画,总投资额高达33亿欧元(约41亿美元),台积电此次仅投入11.14亿欧元,亦即只用英特尔总投资额的三分之一,就获得与英特尔相同效益。

台积电执行副总经理暨共同营运长蒋尚义表示,缩小集成电路尺寸目前所面临的最大挑战之一,在于如何有效控制日益攀升的晶圆制造成本。台积电相信挹注ASML研发经费,将确保并加快EUV微影技术的开发,同时也能提高既有光学微影工具的效能,促进18寸(450mm)晶圆制造技术的快速发展。

蒋尚义强调,这项投资及合作开发,有助半导体产业控制晶圆成本,保障摩尔定律持续演进及可带来的经济效益。

根据台积电的规划,预计在2015~2016年间,位于中科的Fab15厂第5期工程,将首度引入18寸晶圆生产线,至于EUV制程若顺利开发,最快将在14纳米世代投入量产。

ASML执行长EricMeurice指出,台积电加入「客户联合投资专案」,目的是为了让关键微影技术的发展顺利且加速进行,这些技术不仅将使投资伙伴受益,整个半导体产业也得以受惠。

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