韩正视察中微半导体设备公司

29日下午，中央政治局委员、上海市委书记韩正视察中微半导体设备(上海)有限公司，市委常委、浦东新区区委书记沈晓明，市委常委、市委秘书长尹弘，副市长周波，市委副秘书长、研究室主任张道根，市委副秘书长王为人，市政府副秘书长徐逸波等领导陪同视察。

在听取了公司董事长兼首席执行官尹志尧有关产品研发设计、产品生产销售以及未来发展前景等情况介绍，并实地参观了设备生产及产品研发洁净室后，韩正同志指出，半导体智能装备及技术是国家产业发展战略的重点领域，支持高端智能制造业发展，也是上海转型发展的重要举措，中微公司十年磨一剑，发展状况较前几年有很大变化，目前市场份额越来越大，发展前景可喜，市有关方面要围绕企业提出的问题加强指导帮助和协调解决。

据悉，中微已开发出半导体芯片工业所必须的12英寸65纳米到20纳米等离子体介质刻蚀高端设备，并已实现批量生产和销售，产品全面进入国际市场，已成为国际半导体业界包括美Lam和日本东京电子同类设备在内的三个最好的介质刻蚀设备。8英寸和12英寸硅通孔刻蚀设备是中微开发的第二种设备产品，已经取得国内市场的半壁江山，并实现了出口，广泛应用在海内外客户芯片生产线上，成为国际最具竞争力的三家产品之一。同时，中微已完成第三种设备产品——制造发光二极管LED的关键设备MOCVD的开发。产品已经在客户芯片生产线顺利通过了三个阶段全工艺过程核准，近期还将进入海内外另外几家LED外延片生产企业。